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MSD 시리즈 전원 DC 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치

C 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치는 일반적인 박막 준비 기술입니다.응용 분야는 다음을 포함하지만 이에 국한되지는 않습니다: 금속 화합물 박막 재료 제조, 광학 분야, 전자 부품 제조
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MSD 시리즈 DC 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치

주요 특징:

1. 고급 전류 모드 스위칭 전원 공급 장치 기술을 사용하여 출력 에너지 저장 구성 요소를 줄입니다.동시에 스파크 억제 및 재시작 속도가 향상되며 알루미늄 타겟 코팅의 장점이 더욱 분명해집니다.

2. 정전류/정전력 모드에서 사용 가능합니다.정전력 모드는 기존 정전류 모드에 비해 코팅 공정의 반복성을 보장합니다.

3. 이상적인 전압 급강하 특성을 가지며 의사 점화 현상을 자동으로 인식하고 마그네트론 스퍼터링 공정의 연속성을 완벽하게 충족합니다.

4. 주요 매개 변수는 넓은 범위에서 조정될 수 있습니다

5. 선택적인 수동 제어/아날로그 인터페이스 제어, 선택적인 RS485 통신 인터페이스.

6. 가져온 고전력 IGBT 및 MOS 모듈을 사용하고 고급 PWM 펄스 폭 변조 기술을 사용하며 가져온 IGBT 또는 MOSFET을 전원 스위칭 장치로 사용합니다.크기가 작고, 무게가 가벼우며, 기능이 완벽하고, 성능이 안정적이고 신뢰할 수 있으며, 생산 공정이 엄격하고 완벽합니다.

이 제품 시리즈는 고급 DSP 제어 시스템을 사용하여 코팅 공정의 반복성을 완벽하게 보장하고 타겟 아크 방전을 억제하고 단락을 방지하는 기능을 갖추고 있습니다.

이 제품 시리즈는 탁월한 로드 매칭 기능을 갖추고 있어 대상 표면 청소 공정의 안정성을 보장할 뿐만 아니라 대상 표면 청소 속도도 향상시킵니다.

주요 매개변수는 광범위한 범위에서 지속적으로 조정될 수 있습니다.

유지보수가 쉽고 신뢰성이 높습니다.

PLC 인터페이스 및 RS485 인터페이스 확장 기능으로 자동 제어가 용이합니다.

DC 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치는 일반적인 박막 준비 기술입니다.적용 분야는 다음을 포함하지만 이에 국한되지는 않습니다.


금속화합물 박막재료 제조: DC 마그네트론 스퍼터링 기술을 이용하여 다양한 금속화합물 박막재료를 제조할 수 있으며, 이는 각종 금속부품, 금형, 전자부품 제조에 사용될 수 있습니다.예를 들어 금속 와이어, 전극, 금속 필름, 나노 와이어, 자기 전기 장치를 제조할 수 있습니다.이러한 재료는 산업, 전자, 생물의학 분야에서 널리 사용됩니다.

광학 분야: DC 마그네트론 스퍼터링 기술은 반사 방지 코팅, 반사 필름, 필터 등과 같은 다양한 광학 필름을 제조하는 데 사용할 수 있습니다. 이러한 필름은 광학 기기, 조명, 사진 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다.

태양광 패널 제조: DC 마그네트론 스퍼터링 기술은 햇빛을 받으면 빛 에너지를 전기 에너지로 변환할 수 있는 태양광 패널을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.

장식 및 건축 분야: DC 마그네트론 스퍼터링 기술을 사용하여 코팅 유리, 플라스틱 필름 등 다양한 장식 필름을 생산할 수 있습니다. 이러한 재료는 건물의 외부 장식 및 내부 장식에 사용할 수 있습니다.

전자 부품 제조: DC 마그네트론 스퍼터링 기술은 저항기, 커패시터, 인덕터 등과 같은 다양한 전자 부품을 제조하는 데 사용할 수 있습니다. 이러한 부품은 전자 장비에서 중요한 역할을 합니다.



기술적인 매개변수:

모델

힘   (kW)

맥스   작업 전류(A)

Dimensions

냉각   방법

무부하   전압(V)

일하고 있는   전압(V)

MSD-10k

10

12.5

1   단위

공기 냉각

480*243*565

(WHD) (3U)

1000

150~800V

MSD-20k

20

25

1   단위

MSD-30k

30

37.5

2   단위

MSD-40k

40

50

2   단위

MSD-20k

20

25

1   단위

공기 냉각 및 물   냉각

480*280*580

(WHD)(3U)

1000

150~800V

MSD-30k

30

37.5

1   단위

MSD-40k

40

50

1   단위

MSD-60k

60

75

2   단위

MSD-80k

80

100

2   단위

MSD-100k

100

125

3   단위

MSD-120k

120

150

3   단위


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