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마그네트론 스퍼터링 코터용 RF 고전압 전원 공급 장치

마그네트론 스퍼터링 코터용 RF 고전압 전원 공급 장치
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  • TN

최신 기술을 적용한 고체 RF 발생기  안정적인 RF 전력 출력과 긴 서비스 수명을 약속하는 전력 증폭기 및 DC 모듈의 구성입니다.

RF 발생기 자동 매칭 장치는 최첨단 디지털 네트워크 연결 플랫폼을 채택합니다.빠르고 정확하며 반복 가능한 방식으로 플라즈마의 복잡한 임피던스를 회전 범위와 일치시킬 수 있습니다.

기존 아날로그 튜닝 방법과 비교하여 디지털 튜닝 알고리즘과 스테퍼 모터 드라이버는 부하의 임피던스 지점과 항상 일치하는 더 빠르고 정확하며 고도로 반복 가능한 응답을 생성합니다.

고품질 및 적은 수량의 구성 요소는 RF 발생기 신뢰성과 긴 서비스 수명을 극대화합니다.

LCD 디스플레이는 제어판에서 직접 사용할 수 있어 효율성과 교육 비용을 향상시킵니다.

모델

AGM-1303

산출   힘

5W-300W

최대 반영   힘

100W

힘   정확성

±0.1%

고조파   요소

≤-50dbc

힘   공급

하나의   위상187V-253V, 50/60HZ

전반적인   능률

≥70%

힘   요인

≥90%

최대.   전송 전력 일치

500와트

반사전력(최대.   힘)

<3주

최대.   부하 전류

30ARMS

최대.   부하 전압

7500VRMS

RF   출력 커넥터

50Ω,   L29, 맞춤형

성냥   시간

1~3초

일치 가능   임피던스 실수부 범위

0~80Ω

일치 가능   임피던스 허수부 범위

﹣200j~ ﹢200j

냉각   유형

강제 공기   냉각

총   무게

19.5kg

전반적인   크기

133   mm(H)×440mm(W)×410mm(D)


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제품문의
Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
실험실 과학 기기 생산 전문 제조업체입니다.당사의 제품은 대학, 연구 기관 및 실험실에서 널리 사용됩니다.

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