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ITO 전도성 유리용 스테인레스 스틸 캐비티가 있는 자동 초음파 분위기 가열 스핀 코터

자동 초음파 분위기 가열 스핀 코터는 반도체 실리콘 웨이퍼, 유리 슬라이드, 웨이퍼, 기판, ITO 전도성 유리 및 기타 공정의 표면 코팅 및 제판에 적합합니다.
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  • TN-SPC-HUA12

  • TN

TN-SPC-HUA12 스핀 코터는 직경 300mm의 유연한 회전식 접착제 디스펜서입니다.초음파 노즐을 통해 기판에 접착제를 분사한 다음 고속으로 회전하여 접착제를 기판에 고르게 코팅할 수 있습니다.스핀코터 작업은 단독으로 수행할 수도 있습니다.접착제가 혼합된 후 구울 수 있는 캐비티에 발열체가 있습니다.제품에는 양방향 플로트 유량계로 제어되는 가스 경로가 있어 불활성 가스를 공동으로 통과시켜 접착제 혼합 중에 공기 중의 가스 영향으로부터 접착제 액체를 보호할 수 있습니다.자동 초음파 분위기 가열 스핀 코터는 반도체 실리콘 웨이퍼, 유리 슬라이드, 웨이퍼, 기판, ITO 전도성 유리 및 기타 공정의 표면 코팅 및 제판에 적합합니다.접착할 수 있는 최대 웨이퍼 크기는 12인치이며, 속도는 3000rpm, 가속도는 2000rpm에 도달할 수 있습니다.안정적인 속도, 빠른 시작, 편리한 작동 등의 장점이 있으며 접착제 두께의 일관성과 균일성을 보장할 수 있습니다.성능이 뛰어난 제품입니다.

세부사항 소개:

제품 특징

1. 단일 칩 마이크로컴퓨터로 제어되는 DC 브러시리스 모터를 채택합니다.

2. 고화질 터치스크린 제어

3. 단일 단계 다단계 접착제 혼합 작업을 수행할 수 있으며 5개의 프로그램을 저장할 수 있으며 각 프로그램에 대해 5단계 작업을 설정할 수 있습니다.

4. 안티 블로킹 접착제 디자인

5. 알루미늄 합금 캐비티, 견고하고 내구성

6. 초음파, 대기, 가열 및 기타 보조 기능을 통해 접착제 혼합 연구에 다양한 보조 기능을 제공할 수 있습니다.

제품 매개변수:

상품명

초음파 보조 분위기   약제사

웨이퍼 크기

12인치

회전 속도

조정가능한 30~3000rpm

회전 가속도

30~2000rpm/s 조정 가능

접착제 혼합 시간이 가장 길다.   한 번

3000년대

분배 구멍 크기

Ø390mm*90mm

전압

220V 50Hz

1.5KW

가열 온도

0-100℃

보증 기간

마모 부품 제외, 1년,   평생 기술 지원

접착제 기계 진공 흡입 컵

12인치(표준);6인치 하나   (맞춤형)

맞춤형 순수 기계식 척   접착제 기계용

12'   하나(추가 관습);6' 1개(추가 맞춤)

오일프리 진공 펌프

모델:AP-2000V

힘:0.55kw

최소 진공:-700mmHg;-92Kpa

최대 공기 흐름: 200L/min; 12M3/h

무게:10kg

초음파 시스템

분무기 헤드 재질

티타늄 합금

빈도

50kHz

30W

흐름

0.55mL/초

입자 직경

25um

분무기 헤드 유형

원뿔형

분무기 헤드 무게

0.3kg

초음파 전원 크기

315*312*135mm

초음파 전원 공급 장치 무게

5kg

주입 펌프

유량 범위

0.001uL/분~43.349mL/분

파워 다운 메모리 기능

설정 매개변수를 저장한 후   다시 전원을 켜면 설정할 필요가 없습니다.

적용 인젝터 사양

10uL-1000uL

적용 가능한 주사기 사양

1mL-60mL

가열 온도

0-100℃

선형 속도 범위

5um/분-65um/분

선형 속도 조정 분해능

5um/분

최대 스트로크

140mm

뇌졸중 해결

0.156um

정격 선형 추력

>90N

유량계

제어 가스 유형

2종

가스 유량

16-160mL/분




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