TN-SPC-12-A
TN
태양전지 준비를 위한 스테인레스 스틸 챔버를 갖춘 12인치 스핀 코터 소개
TN-SPC12-C 스핀 코터는 최대 12' 직경의 웨이퍼에 대해 솔겔을 통해 쉽고 빠르게 코팅할 수 있도록 설계된 진공 척이 있습니다. 이 스핀 코터는 고급 정밀 모터를 채택하고 최대 속도는 5000rpm에 도달할 수 있어 균일성을 효과적으로 보장합니다. 필름 형성 게다가, 장비는 터치 스크린 제어를 채택하고 코팅 곡선을 미리 설정할 수 있어 공정이 크게 단순화됩니다.
애플리케이션
액체 또는 콜로이드 물질은 실리콘 웨이퍼, 결정, 석영, 세라믹 및 기타 기판에 코팅하여 박막을 형성할 수 있으며 주로 포토레지스트 스핀 코팅, 생물학적 매체 생산, 고분자 필름 생산을 위한 졸-겔 방법 등에 사용됩니다.
기술적인 매개변수
입력 전원 | AC220V, 50Hz |
챔버 재료 | 스테인레스 스틸(투명 아크릴) |
기판 크기 | 직경≤12인치(~300mm) |
회전 속도 | 0-5000rpm |
가속 | 100-5000rpm/s |
속도 분해능 | 1rpm |
단일 단계 시간 | 3000년대 |
조작방법 | 7인치 HD LCD 터치스크린 |
도포방법 | 수동 디스펜싱 |
코팅 곡선 | 각 곡선에는 5개의 세그먼트가 있으며 총 5개의 곡선을 저장할 수 있습니다. |
진공 척 | 예, 포함됩니다 |
진공펌프 | 오일리스 펌프 |
펌핑 속도 | 50L/분 |
총 무게 | ~40kg |
태양전지 준비를 위한 스테인레스 스틸 챔버를 갖춘 12인치 스핀 코터 소개
TN-SPC12-C 스핀 코터는 최대 12' 직경의 웨이퍼에 대해 솔겔을 통해 쉽고 빠르게 코팅할 수 있도록 설계된 진공 척이 있습니다. 이 스핀 코터는 고급 정밀 모터를 채택하고 최대 속도는 5000rpm에 도달할 수 있어 균일성을 효과적으로 보장합니다. 필름 형성 게다가, 장비는 터치 스크린 제어를 채택하고 코팅 곡선을 미리 설정할 수 있어 공정이 크게 단순화됩니다.
애플리케이션
액체 또는 콜로이드 물질은 실리콘 웨이퍼, 결정, 석영, 세라믹 및 기타 기판에 코팅하여 박막을 형성할 수 있으며 주로 포토레지스트 스핀 코팅, 생물학적 매체 생산, 고분자 필름 생산을 위한 졸-겔 방법 등에 사용됩니다.
기술적인 매개변수
입력 전원 | AC220V, 50Hz |
챔버 재료 | 스테인레스 스틸(투명 아크릴) |
기판 크기 | 직경≤12인치(~300mm) |
회전 속도 | 0-5000rpm |
가속 | 100-5000rpm/s |
속도 분해능 | 1rpm |
단일 단계 시간 | 3000년대 |
조작방법 | 7인치 HD LCD 터치스크린 |
도포방법 | 수동 디스펜싱 |
코팅 곡선 | 각 곡선에는 5개의 세그먼트가 있으며 총 5개의 곡선을 저장할 수 있습니다. |
진공 척 | 예, 포함됩니다 |
진공펌프 | 오일리스 펌프 |
펌핑 속도 | 50L/분 |
총 무게 | ~40kg |
