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포토레지스트 스핀코팅용 8인치 아크릴 챔버 스핀코터

스핀 코터는 실리콘 웨이퍼, 유리 또는 기타 재료와 같은 평평한 기판에 다양한 재료(예: 포토레지스트, 폴리머 또는 졸겔)의 균일한 얇은 필름을 적용하는 데 사용됩니다. 스핀 코터는 기판을 고속으로 회전시켜 코팅 재료를 원심력에 의해 표면에 걸쳐 균일하게 퍼뜨립니다.
가용성 상태:
수량:
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  • TN-SPC8-PMMA-RDB

  • TN

8인치 아크릴 챔버 스핀 코터는 평평한 기판에 균일한 박막을 적용하기 위해 설계된 정밀 기기입니다. 이 다용도 장비는 연구 개발 실험실은 물론 산업 환경에서 실리콘 웨이퍼, 유리 또는 기타 재료와 같은 표면에 포토레지스트, 폴리머 또는 졸겔과 같은 재료를 증착하는 데 일반적으로 사용됩니다.


넓은 8인치 아크릴 챔버를 갖춘 이 스핀 코터는 다양한 기판 크기를 수용할 수 있는 충분한 공간을 제공합니다. 투명한 아크릴 소재를 사용하면 코팅 공정을 쉽게 모니터링할 수 있어 필름 두께와 균일성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.


고속 회전 메커니즘을 갖춘 스핀 코터는 기판 표면 전체에 코팅 재료를 고르게 분포시킵니다. 이를 통해 일관되고 재현 가능한 필름 증착이 가능하므로 필름 두께와 품질을 정밀하게 제어해야 하는 응용 분야에 이상적입니다.


스핀 코터의 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 스핀 속도, 가속 및 코팅 시간을 쉽게 프로그래밍할 수 있어 광범위한 코팅 응용 분야에 유연성을 제공합니다. 또한 스핀 코터의 견고한 구조는 장기적인 신뢰성과 내구성을 보장하므로 모든 실험실이나 생산 시설에 귀중한 자산이 됩니다.


전반적으로 8인치 아크릴 챔버 스핀 코터는 박막 증착을 위한 안정적이고 효율적인 도구로, 다양한 코팅 응용 분야에 정밀도, 다양성 및 사용 편의성을 제공합니다.

8인치 정밀 스핀 코터 기술 매개변수:

제품명

8인치 정밀 스핀 코터

제품 모델

TN-SPC8-PMMA-RDB

스핀 코터

공급 전압

AC220V, 50Hz

회전 속도

0~10000rpm

가속

100~5000rpm/s

속도 분해능

1rpm

단일 단계 시간

3000년대

기판 크기

직경 200mm(8인치) 이하

챔버 재료

투명 아크릴

조작방법

7인치 HD LCD 터치스크린

도포방법

수동 디스펜싱, 정밀도 옵션   주사기 펌프

코팅 곡선

곡선당 5개의 세그먼트, 총 5개의 곡선   저장될 수 있다

펌핑 포트

Φ6mm 퀵 스크류 인터페이스

전체 사이즈

290mm×365mm×260mm

총 중량

10kg

연동식


펌프

모델:BT-300CA/153Yx-PPS

적응형    펌프 튜브: 실리콘 튜브, A-60-F 튜브, 코팅 튜브

선택적 펌프 튜브 크기: 14#, 16#, 25#, 17#,   18#

모터 유형: 스테퍼 모터

전압 속도: 220V-300rpm(최대  속도)

흐름율: 0.022~1340ml/min

배기 시스템

진공펌프

건식 기계식 펌프

펌핑 속도

1.1L/초

전원공급장치

AC220V 50/60Hz

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