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포토레지스트용 부식 방지 가열 기능을 갖춘 8인치 정밀 스핀 코터

스핀 코터는 실리콘 웨이퍼, 결정, 석영, 세라믹 및 기타 기판에 액체 또는 콜로이드 물질을 코팅하여 박막을 형성할 수 있습니다.주로 포토레지스트 스핀 코팅, 생물학적 매체 준비, 고분자 필름 제조를 위한 졸-겔 방법 등에 사용됩니다.
가용성 상태:
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  • TN-SPC8-F

  • TN

8인치 고분자 필름용 내식성 가열형 스핀코터

연구, 박막 준비 및 기타 분야.정밀 스핀 코터는 회전 속도, 가속도 및 지속 시간을 정밀하게 제어하여 균일하고 일관된 코팅 두께를 보장합니다.


부식 방지 가열 시스템을 갖춘 이 스핀 코터는 포토레지스트 코팅 공정 중 종종 직면하게 되는 가혹한 화학적 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다.발열체는 부식에 강하여 장비의 수명을 연장하고 안정적인 성능을 보장합니다.


8인치 크기의 이 스핀 코터는 다양한 기판 크기를 수용할 수 있는 충분한 공간을 제공하여 연구 및 생산 응용 분야의 유연성을 허용합니다.사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 컨트롤을 통해 경험이 부족한 사람들도 쉽게 작동할 수 있습니다.


스핀 코터의 견고한 구조는 안정성과 내구성을 보장하고 진동을 최소화하며 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다.컴팩트한 디자인과 인체공학적 기능으로 인해 실험실 및 산업 환경 모두에 적합합니다.


요약하면, 부식 방지 가열 기능이 있는 8인치 정밀 스핀 코터는 포토레지스트 스핀 코팅 및 기타 박막 응용 분야의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 전문가급 장비입니다.정밀한 제어, 부식 방지 가열 및 다양한 기판 호환성을 통해 연구원과 제조업체의 코팅 요구 사항에 맞는 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다.

8인치 정밀 스핀 코터 기술 매개변수:

안건

세부 사항


스핀 코터

전원 전압

AC220V, 50Hz

회전 속도

0~10000rpm

가속

100~5000rpm/s

속도 분해능

1rpm

단일 단계 시간

3000년대

기판 크기

직경 200mm(8인치) 이하

챔버 재료

PTFE

조작방법

7인치 HD LCD 터치스크린

도포방법

수동 분배, 옵션 정밀 주사기 펌프

코팅 곡선

곡선당 5개의 세그먼트, 총 5개의 곡선을 만들 수 있습니다.   저장됨

펌핑 포트

Φ6mm 퀵 스크류 인터페이스

전체 크기

290mm×365mm×260mm

총 무게

10kg

배기 시스템

진공펌프

건식 기계식 펌프

펌핑 속도

1.1L/초

전원 공급 장치

AC220V 50/60Hz


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