반도체 실리콘 웨이퍼용 완전 자동 초음파 보조 대기 가열 스핀 코터

반도체 실리콘 웨이퍼용 전자동 초음파 보조 분위기 가열 스핀 코터

제품 개요

TN-SPC-HUA6는 초음파 노즐을 통해 기판에 접착제를 분사한 후 고속 회전을 통해 기판에 접착제를 균일하게 도포할 수 있는 작고 유연한 스핀 코터입니다.스핀 코팅 작업을 단독으로 직접 수행하는 것도 가능합니다.

챔버에는 발열체가 장착되어 있어 회전 코팅 후 구울 수 있습니다.

제품에는 양방향 플로트 유량계로 제어되는 가스 경로가 있어 회전 코팅 시 공기 중의 가스로부터 접착제 액체를 보호하기 위해 불활성 가스를 챔버로 통과시킬 수 있습니다.

이 기계는 반도체 웨이퍼, 슬라이드, 웨이퍼, 기판, ITO 전도성 유리 및 기타 공정의 표면 코팅 및 제판에 적합합니다.

결정화 가능한 웨이퍼의 최대 크기는 6인치이고, 회전 속도는 10000rpm, 가속도는 5000rpm에 도달할 수 있습니다.

안정적인 속도, 빠른 시작, 편리한 작동 등의 장점이 있으며 방사 코팅 두께의 일관성과 균일성을 보장할 수 있습니다.

제품 특징

1. DC 브러시리스 모터, 단일 칩 마이크로컴퓨터 제어 채택

2. 고화질 터치스크린 제어

3. 단일 단계 및  

다단계 회전코팅 작업이 가능하며, 5개의 프로그램을 저장할 수 있으며, 각 프로그램은 5단계의 작업으로 설정 가능

4. 안티 블로킹 접착제 디자인

5. 내구성이 뛰어난 알루미늄 합금 챔버

6. 초음파, 대기, 가열 등 다양한 보조기능을 갖추고 있어 방사코팅 연구에 활용 가능

매개변수

초음파 시스템

주사기 펌프

유량계