TN-PSP180G-3TA-R
TN
뛰어난 기술로 다양한 소재에 정밀하고 균일한 코팅을 제공합니다.이 기계에는 석영 유리 챔버가 장착되어 있어 코팅 과정에서 높은 가시성을 보장합니다.
컴팩트한 디자인의 이 플라즈마 스퍼터링 코터 기계는 소규모 실험실 응용 분야에 적합합니다.금(Au) 및 백금(Pt) 재료로 샘플을 코팅하는 기능을 제공하므로 다양한 연구 요구 사항에 맞게 다용도로 사용할 수 있습니다.
이 기계에 사용된 2단계 스퍼터링 방식은 우수한 필름 접착력과 균일성을 보장하여 고품질 코팅을 제공합니다.이는 SEM 샘플 준비를 위한 이상적인 선택으로, 연구자가 정확하고 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다.
또한 이 코터 기계에 사용되는 저온 플라즈마 스퍼터링 기술은 샘플 손상이나 왜곡 위험을 최소화하여 시편의 무결성을 보장합니다.
Au 및 Pt 코팅용 석영 유리 챔버를 갖춘 이 3개의 타겟 플라즈마 스퍼터링 코터 기계에 투자하고 정확하고 효율적인 성능으로 연구 역량을 향상시키십시오.
기술적인 매개변수:
제품 모델 | TN-PSP180G-3TA-R | |
견본 단계 | 크기 | 100mm |
거리 샘플 스테이지에서 타겟 표면까지 | 20~35mm 높이 조절 가능 | |
회전 속도 | 1~20rpm 조절할 수 있는 | |
난방 온도 | ≤500℃ | |
온도 제어 정확도 | ±1℃ PID 온도 제어 | |
혈장 스퍼터링 소스 | 수량 | 2 인치x1/2/3 |
냉각 방법 | 물 냉각/자연 냉각 | |
진공 방 | 방 크기 | Φ180mm× 210mm |
관찰 창문 | 전방향 시계 | |
방 재료 | 높은 순도 석영 | |
열려 있는 방법 | 맨 위 커버 분리 가능 | |
높은 그리고 하부커버 재질 | 304 스테인레스 스틸 | |
펌핑 포트 | KF16 | |
섭취 포트 | 1/4 인치 페룰 커넥터 | |
힘 구성 | 수량 | DC 전원 공급 장치x1 |
산출 힘 | 최대. 150W | |
스퍼터링 힘 | 1200V | |
최대. 스퍼터링 전류 | 50mA | |
진공 체계 | 진공 펌프 유형 | 듀얼 스테이지 회전 날개 진공 펌프 |
펌핑 포트 | KF16 | |
배기가스 상호 작용 | KF16 | |
펌핑 비율 | 1.1L/초(4m3/h) | |
궁극적인 진공 | ≥0.1Pa | |
진공 측정 | 저항 진공 게이지 | |
기타 | 힘 공급 | 교류 220V 50Hz |
총 힘 | 1.5kW/2kW | |
치수 | 500mm x320mm x470mm | |
무게 | 30kg | |
뛰어난 기술로 다양한 소재에 정밀하고 균일한 코팅을 제공합니다.이 기계에는 석영 유리 챔버가 장착되어 있어 코팅 과정에서 높은 가시성을 보장합니다.
컴팩트한 디자인의 이 플라즈마 스퍼터링 코터 기계는 소규모 실험실 응용 분야에 적합합니다.금(Au) 및 백금(Pt) 재료로 샘플을 코팅하는 기능을 제공하므로 다양한 연구 요구 사항에 맞게 다용도로 사용할 수 있습니다.
이 기계에 사용된 2단계 스퍼터링 방식은 우수한 필름 접착력과 균일성을 보장하여 고품질 코팅을 제공합니다.이는 SEM 샘플 준비를 위한 이상적인 선택으로, 연구자가 정확하고 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다.
또한 이 코터 기계에 사용되는 저온 플라즈마 스퍼터링 기술은 샘플 손상이나 왜곡 위험을 최소화하여 시편의 무결성을 보장합니다.
Au 및 Pt 코팅용 석영 유리 챔버를 갖춘 이 3개의 타겟 플라즈마 스퍼터링 코터 기계에 투자하고 정확하고 효율적인 성능으로 연구 역량을 향상시키십시오.
기술적인 매개변수:
제품 모델 | TN-PSP180G-3TA-R | |
견본 단계 | 크기 | 100mm |
거리 샘플 스테이지에서 타겟 표면까지 | 20~35mm 높이 조절 가능 | |
회전 속도 | 1~20rpm 조절할 수 있는 | |
난방 온도 | ≤500℃ | |
온도 제어 정확도 | ±1℃ PID 온도 제어 | |
혈장 스퍼터링 소스 | 수량 | 2 인치x1/2/3 |
냉각 방법 | 물 냉각/자연 냉각 | |
진공 방 | 방 크기 | Φ180mm× 210mm |
관찰 창문 | 전방향 시계 | |
방 재료 | 높은 순도 석영 | |
열려 있는 방법 | 맨 위 커버 분리 가능 | |
높은 그리고 하부커버 재질 | 304 스테인레스 스틸 | |
펌핑 포트 | KF16 | |
섭취 포트 | 1/4 인치 페룰 커넥터 | |
힘 구성 | 수량 | DC 전원 공급 장치x1 |
산출 힘 | 최대. 150W | |
스퍼터링 힘 | 1200V | |
최대. 스퍼터링 전류 | 50mA | |
진공 체계 | 진공 펌프 유형 | 듀얼 스테이지 회전 날개 진공 펌프 |
펌핑 포트 | KF16 | |
배기가스 상호 작용 | KF16 | |
펌핑 비율 | 1.1L/초(4m3/h) | |
궁극적인 진공 | ≥0.1Pa | |
진공 측정 | 저항 진공 게이지 | |
기타 | 힘 공급 | 교류 220V 50Hz |
총 힘 | 1.5kW/2kW | |
치수 | 500mm x320mm x470mm | |
무게 | 30kg | |
