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금, 백금, 인듐을 위한 회전 가열 스테이지가 있는 소규모 실험실 3 회전 타겟 소형 플라즈마 스퍼터

이러한 유형의 소형 플라즈마 스퍼터링 코팅 기계는 SEM 샘플 준비 또는 금속 코팅 실험에 널리 사용되는 2단계 스퍼터링 방법을 채택합니다.저온 플라즈마 스퍼터링 공정을 사용하여 코팅 공정 중 고온이 발생하지 않습니다.
가용성 상태:
수량:
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  • TN-PSP180G-3TA-RSH

  • TN

소형 플라즈마 스퍼터링 코팅기는 금, 백금, 인듐 등 다양한 소재에 정밀하고 균일한 코팅을 제공합니다.이 기계는 컴팩트한 디자인으로 인해 작은 실험실 공간에 적합합니다.


회전 타겟과 회전 가열 스테이지를 갖춘 이 플라즈마 스퍼터링 코팅 기계는 효율적이고 균일한 코팅 분포를 보장합니다.2단계 스퍼터링 방법은 코팅 품질을 향상시키고 증착 공정을 더 잘 제어할 수 있게 해줍니다.


저온 플라즈마 스퍼터링 기술을 통해 이 기계는 부드러운 코팅 프로세스를 제공하여 기판에 대한 잠재적인 손상을 최소화합니다.이는 섬세한 샘플이나 민감한 재료에 특히 중요합니다.


소규모 실험실 3 회전 타겟 컴팩트 플라즈마 스퍼터는 SEM 샘플 준비 및 금속 코팅 실험을 위해 설계되었습니다.재료과학, 나노기술, 표면분석 등 다양한 분야의 연구자 및 과학자들에게 필수적인 도구입니다.


안정적인 성능 외에도 이 기계는 직관적인 제어와 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 사용자 친화적입니다.플라즈마 스퍼터링에 대한 경험이 부족한 사람들도 쉽게 작동할 수 있습니다.


회전 가열 스테이지를 갖춘 이 소규모 실험실 3 회전 타겟 소형 플라즈마 스퍼터에 투자하는 것은 실험실 및 연구 시설을 위한 현명한 선택입니다.정확하고 균일한 코팅 결과를 제공하여 정확하고 재현 가능한 실험을 보장합니다.컴팩트한 크기와 효율적인 디자인으로 모든 실험실 공간에 귀중한 추가 기능을 제공합니다.


귀하의 연구 요구 사항에 맞게 이 플라즈마 스퍼터링 코팅 기계를 선택하고 전문가 수준의 코팅 기능을 경험해 보십시오.

기술적인 매개변수:

제품 모델

TN-PSP180G-3TA-RSH

견본   단계

크기

100mm  

거리   샘플 스테이지에서 타겟 표면까지

20~35mm   높이 조절 가능

회전   속도

1~20rpm   조절할 수 있는

난방   온도

≤500℃

온도   제어 정확도

±1℃ PID   온도 제어

혈장   스퍼터링 소스

수량

2   인치x1/2/3

냉각   방법

물   냉각/자연 냉각

진공   방

방   크기

Φ180mm×   210mm    

관찰   창문

전방향   시계

방   재료

높은   순도 석영

열려 있는   방법

맨 위   커버 분리 가능

높은   그리고 하부커버 재질

304   스테인레스 스틸

펌핑   포트

KF16

섭취   포트

1/4   인치 페럴 커넥터

힘   구성

수량

DC   전원 공급 장치x1

산출   힘

최대.   150W

스퍼터링   힘

1200V

최대.   스퍼터링 전류

50mA

진공   체계

진공   펌프 유형

듀얼 스테이지   회전 날개 진공 펌프

펌핑   포트

KF16

배기가스   상호 작용

KF16

펌핑   비율

1.1L/초(4m3/h)

궁극적인   진공

≥0.1Pa

진공   측정

저항   진공 게이지

기타

힘   공급

교류   220V  50Hz

총   힘

1.5kW/2kW

치수

500mm   x320mm x470mm

무게

30kg



에: 
아래: 
제품문의
Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
실험실 과학 기기 생산 전문 제조업체입니다.당사의 제품은 대학, 연구 기관 및 실험실에서 널리 사용됩니다.

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