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3개의 회전하는 표적 플라스마 스퍼터링 코터 기계(박막 코팅용 물 냉각장치 포함)

이러한 유형의 소형 플라즈마 스퍼터링 코팅 기계는 SEM 샘플 준비 또는 금속 코팅 실험에 널리 사용되는 2단계 스퍼터링 방법을 채택합니다.저온 플라즈마 스퍼터링 공정을 사용하여 코팅 공정 중 고온이 발생하지 않습니다.

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모델：
TN-PSP180G-3TA-RS
제품 브랜드：
TN

제품 설명

뛰어난 기술로 균일하고 고품질의 박막 코팅을 보장합니다.기계에는 코팅 공정 중에 안정적인 온도를 유지하기 위해 물 냉각기가 장착되어 일관되고 정확한 결과를 보장합니다.

컴팩트한 디자인의 이 회전식 타겟 플라즈마 스퍼터링 코터 기계는 공간이 제한된 실험실이나 연구 기관에 적합합니다.사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 컨트롤 덕분에 작동이 쉽습니다.2단계 스퍼터링 방식을 사용하면 코팅 두께를 정밀하게 제어할 수 있어 다양한 용도에 적합합니다.

이 기계는 금속, 세라믹, 폴리머 등 다양한 재료를 코팅할 수 있습니다.SEM 샘플 준비, 금속 코팅 실험 또는 기타 박막 코팅 응용 분야에 사용할 수 있습니다.저온 플라즈마 스퍼터링 기술은 기판의 손상을 최소화하고 코팅의 접착력을 탁월하게 보장합니다.

높은 효율성과 신뢰성을 갖춘 이 플라즈마 스퍼터링 코터 기계는 모든 실험실 또는 연구 시설에 필수적인 도구입니다.정확하고 일관된 결과를 제공하여 연구원과 과학자가 원하는 박막 코팅을 쉽게 달성할 수 있도록 도와줍니다.오늘 이 전문가급 코터 기계에 투자하고 연구 역량을 강화하십시오.

기술적인 매개변수:

제품 모델	TN-PSP180G-3TA-RS
견본 단계	크기	100mm
	거리 샘플 스테이지에서 타겟 표면까지	20~35mm 높이 조절 가능
	회전 속도	1~20rpm 조절할 수 있는
	난방 온도	≤500℃
	온도 제어 정확도	±1℃ PID 온도 제어
혈장 스퍼터링 소스	수량	2 인치x1/2/3
혈장 스퍼터링 소스	냉각 방법	물 냉각/자연 냉각
진공 방	방 크기	Φ180mm× 210mm
	관찰 창문	전방향 시계
	방 재료	높은 순도 석영
	열려 있는 방법	맨 위 커버 분리 가능
	높은 그리고 하부커버 재질	304 스테인레스 스틸
	펌핑 포트	KF16
	섭취 포트	1/4 인치 페룰 커넥터
힘 구성	수량	DC 전원 공급 장치x1
	산출 힘	최대. 150W
	스퍼터링 힘	1200V
	최대. 스퍼터링 전류	50mA
진공 체계	진공 펌프 유형	듀얼 스테이지 회전 날개 진공 펌프
	펌핑 포트	KF16
	배기가스 상호 작용	KF16
	펌핑 비율	1.1L/초(4m3/h)
	궁극적인 진공	≥0.1Pa
	진공 측정	저항 진공 게이지
기타	힘 공급	교류 220V 50Hz
	총 힘	1.5kW/2kW
	치수	500mm x320mm x470mm
	무게	30kg