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소스는 영구 자석을 사용하여 양극 근처에서 축 방향을 따라 큰 기울기를 갖는 발산 자기장을 생성하고 환형 홀 전류의 작용으로 이온이 축 방향을 따라 가속되어 이온 빔을 형성합니다.따라서 이 소스를 홀 이온 소스라고도 합니다.
제품 기능:
1. 필름층의 접착력을 향상시킵니다.
2. 흡수 감소:
3. 필름 레이어의 밀도를 향상시킵니다.
특징:
1. 낮은 에너지 2. 높은 이온빔 전류 밀도 3. 넓은 균일 영역 4. 사용 용이성 5. 높은 비용 효율성.
기술적인 매개변수:
해고하다 전압 | 100--200 (V) |
해고하다 현재의 | 0--3 (ㅏ) |
해당되는 내각 | Ø600 (mm,최대) |
소스는 영구 자석을 사용하여 양극 근처에서 축 방향을 따라 큰 기울기를 갖는 발산 자기장을 생성하고 환형 홀 전류의 작용으로 이온이 축 방향을 따라 가속되어 이온 빔을 형성합니다.따라서 이 소스를 홀 이온 소스라고도 합니다.
제품 기능:
1. 필름층의 접착력을 향상시킵니다.
2. 흡수 감소:
3. 필름 레이어의 밀도를 향상시킵니다.
특징:
1. 낮은 에너지 2. 높은 이온빔 전류 밀도 3. 넓은 균일 영역 4. 사용 용이성 5. 높은 비용 효율성.
기술적인 매개변수:
해고하다 전압 | 100--200 (V) |
해고하다 현재의 | 0--3 (ㅏ) |
해당되는 내각 | Ø600 (mm,최대) |
