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다중 아크 이온 코터용 플라즈마 소스

다중 아크 이온 코터용 플라즈마 소스
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  • TN

다중 아크 이온 코터용 플라즈마 소스

공동PBN(N2/시간2), 석영(O2/시간2)
플랜지ICF114(CF63)
수냉식 구조가지다
최대 출력600W
발생빈도13.56MHz
가스 입구 플랜지ICF34(CF16)


에: 
아래: 
Multi-arc ion coater Plasma Source Evaporation Coater
제품문의

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