TN
전자빔 증발 코팅기용 RHEED 전자총
필라멘트 | W선(직경 0.1mm) |
전자 가속 전압 | 0-30kV |
전자빔 직경 | 100μm |
전자빔 포커싱 | 예 |
전자빔 편향 | 예 |
안전 자동 잠금 기능 | 가지다 |
차동 펌핑 기능 | 가지다 |
플랜지 | ICF70 |
베이킹 온도 | 200℃ |
전자빔 증발 코팅기용 RHEED 전자총
필라멘트 | W선(직경 0.1mm) |
전자 가속 전압 | 0-30kV |
전자빔 직경 | 100μm |
전자빔 포커싱 | 예 |
전자빔 편향 | 예 |
안전 자동 잠금 기능 | 가지다 |
차동 펌핑 기능 | 가지다 |
플랜지 | ICF70 |
베이킹 온도 | 200℃ |