TN
열 증발 코팅기용 샘플 가열
기술적인 매개변수:
난방 모드 | 열복사 |
히터 | 타와이어、타피스、W 와이어、SiC |
가열 온도 | 1300(K) |
열전대 | K형 |
기판 크기 | 1-4인치 |
UHV 사용 | 예 |
난방 모드 | 열 복사 및 전자 충격 가열 |
필라멘트 | W(직경 0.05mm) |
가열 온도 | >2300(K) |
저온 콜드 헤드 설치 가능(액체 질소/액체 헬륨) | 예 |
최소 냉각 | 10(K) |
표본이 편향될 수 있는가 | 예 |
표본의 크기 | 1 인치 |
UHV 사용 | 예 |
열 증발 코팅기용 샘플 가열
기술적인 매개변수:
난방 모드 | 열복사 |
히터 | 타와이어、타피스、W 와이어、SiC |
가열 온도 | 1300(K) |
열전대 | K형 |
기판 크기 | 1-4인치 |
UHV 사용 | 예 |
난방 모드 | 열 복사 및 전자 충격 가열 |
필라멘트 | W(직경 0.05mm) |
가열 온도 | >2300(K) |
저온 콜드 헤드 설치 가능(액체 질소/액체 헬륨) | 예 |
최소 냉각 | 10(K) |
표본이 편향될 수 있는가 | 예 |
표본의 크기 | 1 인치 |
UHV 사용 | 예 |
