2 유연한 헤드 및 퀵 커넥터가 있는 고진공 마그네트론 스퍼터 소스

전력 요구 사항

• DC(최대) 500W

• RF(최대)  300W

전기 연결 유형
 
 

• 표준 SL16 케이블 커넥터   ( 그림 1 )

• SL6 커넥터가 있는 148cm RF 케이블 옵션(주문하려면 그림 2 클릭)

스퍼터링 전류(최대)

5암페어

스퍼터링 전압

200-1000V

스퍼터링 압력

1~1000mTorr

Dimensions

• 양극 쉴드 직경: 86mm                    

 
  스퍼터링 타겟

• 지름:                                2.0인치(50.8mm),

• 두께:                              비자성 타겟의 경우 최대 1/4', 최대         자기 타겟의 경우 1/16'까지

• 이용:                               최대 30%

• 자석:                                   NdFeB 희토류 자석

  냉각수 요구 사항

• 흐름율:                                0.8 GPM, 필터링됨

• 물 입구 온도:     <20℃

• 물 배관:                            6mm 빠른 연결 해제.

설치

• 피드스루:                             3/4' OD튜브

순중량

3.5파운드

 
 
  부속품
 
 

• 0.75' ID의 고진공 퀵 커넥터가 포함되어 있습니다.        베이스플레이트에 스퍼터링 소스를 설치하기 위한 이 구성요소(위쪽)        1' 직경의 관통 구멍이 있는 진공 챔버의 쉽게(        자세한 내용을 보려면 왼쪽 아래 사진을 클릭하세요.)

• 고진공 피드스루가 있는 6' CF 플랜지는        요청 시 추가 비용으로 이용 가능합니다.스퍼터링 헤드는 쉽게        빠른 단로기를 통해 6'' CF 진공 플랜지에 설치됩니다.        스퍼터링 건의 높이 위치를 수동으로 조정할 수 있습니다.        진공 챔버 내부.   (3번과 4번 아래의 그림을 클릭하세요.         자세히 보려면 ​​)

• 디지털 온도 제어 순환식 냉각기        6리터 탱크, 16L/분 흐름은 추가 비용으로 이용 가능합니다. 클릭하세요.        아래 사진을 보고 바로 주문하세요.