마그네트론 스퍼터링 코팅기용 고진공 퀵 커넥터가 있는 마그네트론 스퍼터 소스 1개

스퍼터링 건

• 스퍼터링 헤드        지름:         1.82'        (46.3mm)

• 표적 직경:                                1.0 ± 0.02'(25.4mm)

• 최대 대상 두께:       1/8'        (3mm)

• 자석:                                                   NdFeB 희토류 자석

• 샤프트 직경:                                         3/4' OD

  전기 커넥터

• 표준 SL16 케이블 커넥터   ( 그림 1 )

• SL6 커넥터가 있는 148cm RF 케이블 옵션(주문하려면 그림 2 클릭)

전력 요구 사항

• DC(최대)  250W

• RF(최대)  100W

음극 스퍼터링 전류

3A(최대)
 
 

음극 스퍼터링 전압

200 - 1,000V

작동 압력 범위

~1mTorr ~ 1Torr

스퍼터링 두께
  균일성 곡선
 

• 메모: 위의 표준화된 필름 두께 그래프는 다음에서 얻었습니다.        PVD HV 마그네트론 스퍼터링 건을 사용하여 ~200nm 두께의 필름 증착        1인치 Cu 타겟을 사용합니다.측정은 4점식을 사용하여 수행되었습니다.        웨이퍼 전체에 걸쳐 서로 수직인 두 방향(X, Y)으로 프로브        표면.필름은 산화된 비회전 Si 웨이퍼 위에 증착되었습니다.        다음 조건에서:

• 10mTorr(Ar)에서 150W DC

• 대상에서 기판까지의 거리 3인치(75mm)

수냉식(필수)
 

• 유량 요구 사항:                      1/2 GPM, 필터링됨
         
         

• 물 입구 온도:                    <20℃

• 물 연결:                                          0.25' OD        튜브.

• 물 냉각기의 튜브 크기를 알려주십시오.        추가 비용으로 피팅을 사전 설치하십시오.

전기 및 장착 피팅

• 전기 커넥터:                          표준 HN형        (DC 및 RF)

• 고진공 퀵 커넥터가 사전 설치되어 있어 즉시 사용이 가능합니다.        스퍼터링 소스를 위에 설치할 수 있는 사용        진공 챔버의 베이스플레이트(최대 1' 두께)  1' 직경        구멍을 통해 쉽게.

피드스루가 있는 진공 플랜지 (선택 과목)

높은 6' CF 플랜지   진공 피드스루는 요청 시 추가 비용으로 이용 가능합니다.그만큼   스퍼터링 헤드는 다음을 통해 6'' CF 진공 플랜지에 쉽게 설치할 수 있습니다.   빠른 단로기.스퍼터링 건의 높이 위치는 다음과 같습니다.   진공 챔버 내부에서 수동으로 조정됩니다.  
   
 
 

플라즈마 스퍼터링 타겟

• 1' 구리 백킹 플레이트  (EQ-CBP-1)        포함됩니다.

• 다른 1' 직경을 주문하려면 클릭하세요.        플라즈마 스퍼터링 타겟

전체 길이

14인치

순중량

3파운드

 
 
  옵션 액세서리

• 6개의 디지털 온도 제어 재순환 수 냉각기        리터 탱크, 16L/분 흐름은 추가 비용으로 이용 가능합니다. 주문하세요.        별도로 주문하려면 왼쪽 아래 사진을 클릭하세요.

• MTI는 DC 및 RF 전원과 진공 챔버를 제공합니다.         DIY 스퍼터링 시스템용(주문하려면 아래 그림을 클릭하십시오)