마그네트론 스퍼터링 코터용 DIY RF 및 DC 스퍼터링 코터용 유연한 헤드가 있는 1개의 마그네트론 스퍼터링 소스

스퍼터링 건
 
 

• 스퍼터링 헤드        지름:         1.82'        (46.3mm)

• 표적 직경:                                1.0 ± 0.02'(25.4mm)

• 최대 대상 두께:       1/8'        (3mm)

• 자석:                                                   NdFeB 희토류 자석

• 샤프트 직경:                                         3/4' OD

  전기 커넥터
 
 

• 표준 SL16 케이블 커넥터   ( 그림 1 )

• SL6 커넥터가 있는 148cm RF 케이블 옵션(주문하려면 그림 2 클릭)                    

전력 요구 사항

• DC(최대) 250W

• RF(최대)100W

음극 스퍼터링 전류

3A(최대)
 
 

음극 스퍼터링 전압

200 - 1,000V

작동 압력 범위

~1mTorr ~ 1Torr

스퍼터링 두께 균일성 곡선
 
 

  메모: 표준화된 필름 두께 그래프   위의 값은 PVD HV를 사용하여 ~200nm 두께의 필름을 증착하여 얻은 것입니다.   1인치 Cu 타겟을 사용한 마그네트론 스퍼터링 건.측정값은 다음과 같습니다.   4점 프로브를 사용하여 서로 수직인 두 방향(X,   Y) 웨이퍼 표면을 가로질러.필름은 산화된 표면에 증착되었습니다.   다음 조건에서 비회전 Si 웨이퍼:

1.     10mTorr(Ar)에서 150W DC

2.     대상으로부터 3인치(75mm) 거리   기판에

수냉식(필수)

• 유량 요구 사항:                      1/2 GPM, 필터링됨
         
         

• 물 입구 온도:                    <20℃

• 물 연결:                                          0.25' OD        빠른 연결 해제

전기 및 장착 피팅

• 전기 커넥터:                          표준 HN형        (DC 및 RF)

• 고진공 신속 분리 장치가 포함되어 있습니다.고진공 퀵        0.75' ID(HVMSS-SPC-1-LD와 호환 가능)로 연결을 끊습니다. 이것을 사용하십시오        HVMSS-SPC-1-LD 스퍼터링 도구를 설치하는 구성 요소        진공 챔버의 바닥판(최대 1' 두께)  1' 직경        구멍을 통해

피드스루가 있는 진공 플랜지
   (선택 과목)

6' CF 플랜지(높음)   진공 피드스루는 요청 시 추가 비용으로 이용 가능합니다.그만큼   스퍼터링 헤드는 다음을 통해 6'' CF 진공 플랜지에 쉽게 설치할 수 있습니다.   빠른 진공 클램프.스퍼터링 건의 높이 위치는 수동으로 설정할 수 있습니다.   진공 챔버 내부에서 조정되었습니다.  

전체 길이

14인치

순중량

3파운드

틸트 어셈블리

• 스퍼터링 헤드는 +/- 45도 기울어져 조정이 가능합니다.        스퍼터링 수율을 향상시키기 위한 폭격의 입사각.

• 틸트 어셈블리의 스크라이브 라인은 정확한 각도 조정을 제공합니다.          

 
  옵션 액세서리

• 디지털 온도  제어식 순환수 냉각기        6리터 탱크 포함, 16L/분 유량은 추가 비용으로 이용 가능합니다.        별도로 주문하세요.

• MTI는 사용하도록 설계된 다양한 스퍼터링 액세서리를 제공합니다.        HVMSS-SPC-1 마그네트론 스퍼터링 건을 사용하여        맞춤형 DIY 마그네트론 스퍼터링 제작에 관심이 있는 고객        코팅기: