TN-FDC-S
TN
TN-FDC-S 필름 두께 컨트롤러는 전자빔 코팅, 마그네트론 스퍼터링, 저항 열 증발 및 기타 코팅 두께 제어 상황에 적합합니다.
증발원과 함께 폐쇄 루프 제어를 형성하여 전력, 속도, 두께 및 사용 시간을 포함한 전체 코팅 데이터를 실시간으로 제어하고 표시합니다.복잡한 광학 및 금속 다층 필름을 도금할 수 있습니다.기존의 키 조작보다 직관적이고 이해하기 쉬운 터치스크린 제어를 통해 다양한 조작을 실현할 수 있습니다.
기기 프로그래밍은 매우 편리하며 총 8개의 필름 시스템을 설정할 수 있으며 각 필름 시스템에는 100개의 코팅 층이 있어 다층 코팅에 큰 편리함을 제공합니다.
TN-FDC-S 필름 두께 컨트롤러에는 다음과 같은 특수 기능이 있습니다. 수동 제어: 코팅 수동 종료, 결정 진동 실패 시 현재 전력에 따른 코팅, 웨이퍼 계속 전환(멀티 칩 프로브), 필름 시스템 중단 , 두 소스의 동시 사전 용해, 비밀번호 보호 등
기술적 기능들
1. 풀 터치 스크린 작동, 간단하고 사용하기 쉽습니다.
2. 32개의 필름 시스템, 각각 50/100개 층의 자동 코팅;
3. 12개의 신호 입력; 12개의 스위치 출력;
4. 완전 자동, 반자동 및 수동 제어 모드를 제공합니다.
5. 두 가지 소스를 제어할 수 있습니다. 하나는 작동하고 다른 하나는 사전 용해됩니다.
기술적인 매개변수
결정 빈도 | 6MHz (옵션 2.5M 3M 5M 9M 크리스탈) |
표시하다 방법 | 5 '컬러 터치 스크린 + 닉시 튜브 디스플레이 속도 및 실제 두께 |
작업 방법 | 만지다 화면 |
결정적인 두께 | 00μ0000Å~99μ9999Å |
두께 화면 해상도 | 1Å/초 |
비율 화면 해상도 | 0.1Å/초 |
숫자 코팅층의 | 32 필름 시스템, 필름 시스템당 50/100개 레이어; |
숫자 프로브의 | A B |
수단이되는 요인 | 0.01-99.99 |
Time 표시하다 | 00:00:00-23:59:59 H:M:S |
힘 표시하다 | 0~99.9% |
사전용해 힘 | 0~99% |
사전 도금력 | 0~99.9% |
사전 용융 시간 / 사전 도금 시간 | 0~99:99 m:s |
사전 녹는 시간과 유지 시간 /사전 도금 유지 시간 | 0~99:99 m:s |
코팅 비율 (설정 비율) | 0~999.9Å/s |
재료 저장 | 257 + 10 맞춤형 |
의사소통 | RS232/RS485 |
제어 가능 증발원 | 2, 하나는 작동용이고 다른 하나는 사전 용해용입니다. |
산출 제어 | ±10V/5V/2.5V |
I / 상호 작용 | 12 신호 입력 / 12개의 스위치 출력 |
숫자 제어 가능한 도가니 | 1-16 |
코팅 표시하다 | 비율 곡선 / 값 |
코팅 회로 시간 | 50 / 멤브레인 시스템당 100개 레이어 |
크기 | 480 × 280 × 89mm(2U 19'케이스) |
특징:
1. 수동, 반자동, 자동 3가지 코팅 모드로 다양한 코팅 기계 구성을 충족합니다.
2. 수동 정지 코팅: 코팅 공정에서 수동 정지 코팅;
3. 수동 제어: 초기 코팅 공정 요구 사항을 결정합니다.
4. 중단 필름 시스템: 자동 및 반자동 코팅에서 문제나 결함이 발견되는 경우 코팅을 중지하고 현재 상태를 자동으로 저장할 수 있습니다.결함이 제거된 후 필름 시스템을 중단하더라도 코팅을 계속할 수 있습니다.
5. 자동 또는 반자동 코팅 시 수정 진동이 실패하면 코팅을 중지하고 현재 전력 시간에 따라 코팅을 전환하여 계속하도록 칩을 전환할 수 있습니다(멀티 칩 프로브).
6. 두 가지 소스가 동시에 사전 용융됩니다. 현재 코팅의 시작 과정에서 두 번째 층이 동시에 사전 용융될 수 있으므로 시간 요구 사항이 촉박한 상황을 충족할 수 있습니다.
7. 비밀번호 보호: 프로세스 매개변수가 프로세스 담당자가 아닌 사람에 의해 수정되는 것을 방지하기 위한 필름 시스템 및 필름 매개변수에 대한 비밀번호 보호 기능입니다.
8. 코팅 데이터 기록: 자동 또는 반자동 코팅 시 시스템은 필름 형성 시간과 각 필름 층의 최종 두께 비율 매개변수를 기록할 수 있습니다.
TN-FDC-S 필름 두께 컨트롤러는 전자빔 코팅, 마그네트론 스퍼터링, 저항 열 증발 및 기타 코팅 두께 제어 상황에 적합합니다.
증발원과 함께 폐쇄 루프 제어를 형성하여 전력, 속도, 두께 및 사용 시간을 포함한 전체 코팅 데이터를 실시간으로 제어하고 표시합니다.복잡한 광학 및 금속 다층 필름을 도금할 수 있습니다.기존의 키 조작보다 직관적이고 이해하기 쉬운 터치스크린 제어를 통해 다양한 조작을 실현할 수 있습니다.
기기 프로그래밍은 매우 편리하며 총 8개의 필름 시스템을 설정할 수 있으며 각 필름 시스템에는 100개의 코팅 층이 있어 다층 코팅에 큰 편리함을 제공합니다.
TN-FDC-S 필름 두께 컨트롤러에는 다음과 같은 특수 기능이 있습니다. 수동 제어: 코팅 수동 종료, 결정 진동 실패 시 현재 전력에 따른 코팅, 웨이퍼 계속 전환(멀티 칩 프로브), 필름 시스템 중단 , 두 소스의 동시 사전 용해, 비밀번호 보호 등
기술적 기능들
1. 풀 터치 스크린 작동, 간단하고 사용하기 쉽습니다.
2. 32개의 필름 시스템, 각각 50/100개 층의 자동 코팅;
3. 12개의 신호 입력; 12개의 스위치 출력;
4. 완전 자동, 반자동 및 수동 제어 모드를 제공합니다.
5. 두 가지 소스를 제어할 수 있습니다. 하나는 작동하고 다른 하나는 사전 용해됩니다.
기술적인 매개변수
결정 빈도 | 6MHz (옵션 2.5M 3M 5M 9M 크리스탈) |
표시하다 방법 | 5 '컬러 터치 스크린 + 닉시 튜브 디스플레이 속도 및 실제 두께 |
작업 방법 | 만지다 화면 |
결정적인 두께 | 00μ0000Å~99μ9999Å |
두께 화면 해상도 | 1Å/초 |
비율 화면 해상도 | 0.1Å/초 |
숫자 코팅층의 | 32 필름 시스템, 필름 시스템당 50/100개 레이어; |
숫자 프로브의 | A B |
수단이되는 요인 | 0.01-99.99 |
Time 표시하다 | 00:00:00-23:59:59 H:M:S |
힘 표시하다 | 0~99.9% |
사전용해 힘 | 0~99% |
사전 도금력 | 0~99.9% |
사전 용융 시간 / 사전 도금 시간 | 0~99:99 m:s |
사전 녹는 시간과 유지 시간 /사전 도금 유지 시간 | 0~99:99 m:s |
코팅 비율 (설정 비율) | 0~999.9Å/s |
재료 저장 | 257 + 10 맞춤형 |
의사소통 | RS232/RS485 |
제어 가능 증발원 | 2, 하나는 작동용이고 다른 하나는 사전 용해용입니다. |
산출 제어 | ±10V/5V/2.5V |
I / 상호 작용 | 12 신호 입력 / 12개의 스위치 출력 |
숫자 제어 가능한 도가니 | 1-16 |
코팅 표시하다 | 비율 곡선 / 값 |
코팅 회로 시간 | 50 / 멤브레인 시스템당 100개 레이어 |
크기 | 480 × 280 × 89mm(2U 19'케이스) |
특징:
1. 수동, 반자동, 자동 3가지 코팅 모드로 다양한 코팅 기계 구성을 충족합니다.
2. 수동 정지 코팅: 코팅 공정에서 수동 정지 코팅;
3. 수동 제어: 초기 코팅 공정 요구 사항을 결정합니다.
4. 중단 필름 시스템: 자동 및 반자동 코팅에서 문제나 결함이 발견되는 경우 코팅을 중지하고 현재 상태를 자동으로 저장할 수 있습니다.결함이 제거된 후 필름 시스템을 중단하더라도 코팅을 계속할 수 있습니다.
5. 자동 또는 반자동 코팅 시 수정 진동이 실패하면 코팅을 중지하고 현재 전력 시간에 따라 코팅을 전환하여 계속하도록 칩을 전환할 수 있습니다(멀티 칩 프로브).
6. 두 가지 소스가 동시에 사전 용융됩니다. 현재 코팅의 시작 과정에서 두 번째 층이 동시에 사전 용융될 수 있으므로 시간 요구 사항이 촉박한 상황을 충족할 수 있습니다.
7. 비밀번호 보호: 프로세스 매개변수가 프로세스 담당자가 아닌 사람에 의해 수정되는 것을 방지하기 위한 필름 시스템 및 필름 매개변수에 대한 비밀번호 보호 기능입니다.
8. 코팅 데이터 기록: 자동 또는 반자동 코팅 시 시스템은 필름 형성 시간과 각 필름 층의 최종 두께 비율 매개변수를 기록할 수 있습니다.
